 |
 | NanoMaker |  | Скачать |  | Примеры Использования | | Поддержка | | Публикации | | Контакты |  |
 |
|
|
|||||||||||
  
|
 |
Осаждение из газовой фазы индуцированное электронным лучом
| Еще одно приложение, для которого может быть успешно использован NanoMaker
- это контролируемое осаждение тонкопленочных покрытий на подложку путем
разложения металлоорганики под воздействием сфокусированного электронного луча
(так называемое "Oсаждение из газовой фазы индуцированное электронным лучом").
Имеющиеся в NanoMaker'e возможности позволяют в заданном месте подложки формировать
покрытия заданной формы и толщины с высоким пространственным разрешением.
Серия экспериментов была проделана в Университете Пенсильвании, США, для того чтобы оценить возможности NanoMaker'а по управлению осаждением золотых и платиновых покрытий. |
|||||||
 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
 |
Осаждение производилось на микроскопе FEI Quanta 600 FEG
оснащенном несколькими дюзами для подачи различных металлоорганических соединений и,
в том числе соединений содержащих золото и платину.
Выражаем благодарность доктору Л. Роткиной за любезно предоставленные фотографии. |
|
||||
 |
 |
 |
|
||||
 |
Fig. 1. Фрагменты тонкой Pt пленки осажденной из газовой фазы. |  |
|
||||
Fig. 1. and Fig. 1a. демонстрируют результаты осаждения тонкой платиновой пленки на кремниевую подложку в виде трапецеидальных площадок, а также соответствующей надписи и трех тонких линий шириной 30, 20 и 10 нм под ней. Фотография была снята через несколько минут после осаждения и закрытия дюзы. |
|
||||||
| Fig. 1a. Фрагмент осажденной структуры, включающей тонкие линии 30, 20 и 10 нм шириной. | |
||||||
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
 |
На Fig. 2 представлены результаты осаждения золотой пленки в виде клина переменной толщины для того, для того, чтобы определить параметры процесса осаждения. В качестве рабочей структуры в NanoMaker'e был выбран дозовый клин, который обычно используется в электронной литографии для экспериментального определения чувствительности резиста. | |
|||||
 |
 |
 |
|
|||||
 |
Fig. 2. Set of deposited gold wedges |  |
|
|||||
 |
 |
|
||||||
 |
Fig. 2a. Клиновидная пленка с расслоением | |
||||||
|
Структура представляет собою длинный прямоугольник, состоящий из набора узких примыкающих
друг к другу длинными сторонами прямоугольников одинаковых по площади, но отличающихся
по времени экспонирования (всего 101 штука).
Время экспонирования прямоугольников линейно нарастает слева направо таким образом, что время экспонирования крайнего правого прямоугольника превышает в 10 раз время экспонирования крайнего левого прямоугольника. Была выполнена серия экспериментов для различных условий осаждения. На фотографии заметно, что толщина осажденных клиньев увеличивается от верхнего к нижнему, что отражается на изменении яркости формируемого изображения. |
|
|||||||
 |
Fig. 2b. Фрагмент клиновидной пленки с расслоением |  |
|
|||||
| Причем у самого нижнего из клиньев произошло даже расслоение пленки из-за возникших напряжений. Поскольку микроскоп не оснащен системой бланкирования луча, слева ниже каждой из структур виден столбик из осажденного металла, который вырос во время нахождения луча в отстойнике при подготовке программой данных для экспонирования. Светлые ореолы вокруг столбиков являются результом воздействия обратно рассеянных электронов (ОРЭ) так, что парамтры функции близости могут быть получены непосредственно из эксперимента. | ||||||||
Опубликовано: 14 декабря 2010 |
||||||||