3D Коррекция эффекта близости и 3D Структурирование

	Оъекты киноформной оптики
Используя 3D коррекцию эффекта близости при подготовке данных для электронной литографии 3D объекты произвольной формы могут быть созданы в течение одной экспозиционной сессии.