|
Сверхвысокая разрешающая способность
Эта наименьшая карта мира из нарисованных когда-либо при помощи
электронно-лучевой литографии (ширина линии 7 нм). Она была изготовлена
еще в 1995 году на микроскопе UHV FE-SEM HB 501. В качестве подложки использовалась
Si3N4 мембрана покрытая чувствительным к
электронам материалом AlF3. Работа была выполнена
др. В. Николайчиком и др. И. Ходосом в ИПТМ РАН, Черноголовка.
|
|
|
|