Травление фокусированным ионным лучом золотой пленки, лежащей на углероде.

Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko
Nanotechnology Center, St. Petersburg State University, St. Petersburg, Russia
Оборудование: Zeiss Orion helium-ion microscope

Травление фокусированным ионным лучом золотой пленки, лежащей на углероде. Разрешение лучше чем 10 нм было достигнуто. Травление выполнялось при токе 1 пА за время чуть меньшее чем 3 минуты. Искажение последней буквы и подчеркивающей линии наблюдаются на правой стороне из-за кривизны поверхности золотой пленки.

Другие фотографии наших пользователей

A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Отражающие зонные пластинки для фокусировки рентгеновского излучения...

G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон...

J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Фотонные кристаллы на основе квадратной решетки в S3N4...

V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS Детектор квантовых состояний...

A. Nashchekin, E. Arakcheeva, E. Tanklevskaya; Ioffe Physico-Technical Institute RAS Двумерный полупроводниковый фотонный кристалл с гексагональной решеткой субмикронных отверстий...

Y. Kasumov; IMT RAS1 and ISSP RAS2 Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе...

A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS Массив сверхпроводящих приемных элементов для детектирования излучения в терагерцовом диапазоне....

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin; IMT RAS "Глубокие" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)...

E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)...

V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1 Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь...