Fabrication of rainbow hologram with NanoMaker  Fabrication of Rainbow Hologram with NanoMaker
 NanoMaker  Скачать  Примеры Использования  Поддержка  Публикации  Контакты 
English      Russian
 NanoMaker
 Скачать
 Примеры Использования
 Совмещение и Послойная Литография
 Автоматическая Стыковка Полей Совмещением по Сетке Маркеров
 2D Коррекция Эффекта Близости
 3D Коррекция Эффекта Близости
 Сверхвысокое Разрешение
 Изготовление OVD
 Диффракционная Оптика
 Коррекция Динамических Искажений
 Управление AFM
 Интеграция с Лазерным Столом
 Прямое Осаждение Тонких Пленок
 Изготовление Сверхострых Игл
 Сканирующий Гелий-Ионный Микроскоп Orion
 Поддержка
 Публикации
 Контакты
Site search by Google
Рейтинг@Mail.ru  eXTReMe Tracker
Интеграция с лазерным интерферометрическим столом

Интеграция с лазерным интерферометрическим столом на LEO 1560

LEO 1560 + NanoMaker at BESSY II
Fig. 1. LEO 1560 под управлением NanoMaker

NanoMaker был интегрирован с лазерным интерферометрическим столом, установленным на сканирующем электронном микроскопе LEO 1560 в BESSY | AZM (Germany).

Двух-координатный лазерный интерферометрический стол от компании Technology Sources Ltd., UK имеет пределы перемещения по осям 150 мм и точность измерения положения 2.5 нм.

Используя уникальные функции NanoMaker по стыковке полей, основанные на компенсации динамических ошибок позиционирования луча и высокую точность измерения положения стола с помощью лазерных интерферометров, новая установка демонстрирует отличные результаты в производстве крупномасштабных устройств (до нескольких сантиметров). На фотографии приведены два примера таких устройств для рентгеновской оптики и спектроскопии. Fig. 2a и 2b демонстрируют плоский монохроматор из совершенного монокристалла Ge с линзами в виде золотых отражающих зонных пластинок. На Fig. 3 представлены фрагменты эллиптической Брэгг-Френелевской зонной пластинки.

Fig. 2a. Несколько линз в виде золотых отражающих зонных пластинок изготовлены на одном плоском монохроматоре из совершенного монокристалла Ge (111). Ge кристалл имеет размеры 30 мм х 30 мм. Фокусное расстояние линз 310 см. Размер последней зоны 300 нм.
Fig. 2b. Фрагмент последних зон одной из линз. Толщина золотого фазосдвигающего слоя 150 нм.
Fig. 3. Фрагменты эллиптической Брэгг-Френелевской зонной пластинки для рентгеновского излучения с зонами 1-го и 3-го порядка.

Все фотографии любезно предоставлены , BESSY | AZM, Berlin.

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
 
    Copyright © 2002-2017 Interface Ltd. & IMT RAS