Fig. 1. LEO 1560 под управлением NanoMaker |
NanoMaker был интегрирован с лазерным интерферометрическим столом, установленным на сканирующем электронном микроскопе LEO 1560 в BESSY | AZM (Germany).
Двух-координатный лазерный интерферометрический стол от компании Technology Sources Ltd., UK
имеет пределы перемещения по осям 150 мм и точность измерения положения 2.5 нм.
Используя уникальные функции NanoMaker по стыковке полей, основанные
на компенсации динамических ошибок позиционирования луча и высокую точность измерения
положения стола с помощью лазерных интерферометров, новая установка демонстрирует
отличные результаты в производстве крупномасштабных устройств (до нескольких сантиметров).
На фотографии приведены два примера таких устройств для рентгеновской оптики и спектроскопии.
Fig. 2a и 2b демонстрируют плоский монохроматор из совершенного монокристалла Ge с линзами в виде золотых отражающих зонных пластинок.
На Fig. 3 представлены фрагменты эллиптической Брэгг-Френелевской зонной пластинки.
|