Литографическая система NanoMaker поставлена в исследовательскую лабораторию Университета города Жешув, Польша

November 11, 2013

Пресс релиз

Компания Интерфейс, ведущий интегратор решений в области информационных технологий, осуществила поставку и установку литографической системы NanoMaker в лаборатории технологии нанолитографии и фотолитографии Научно-образовательного центра микроэлектроники и нанотехнологии Университета города Жешув (Rzeszow, административный центр Подкарпатского воеводства, Польша).

NanoMaker - это литографическая система, предназначенная для проектирования 2D и 3D структур и их экспонирования на электронных (SEM), ионных (FIB) микроскопах. В состав NanoMaker включен специализированный графический редактор, позволяющий создавать иерархические структуры любого размера и любой степени сложности, импортировать и экспортировать результаты проектирования в форматы, совместимые с большинством существующих литографических систем. Программа обладает интуитивно понятным графическим интерфейсом, позволяющим сделать максимально комфортными процесс проектирования.

NanoMaker позволяет управлять режимами экспонирования, осуществлять съем и обработку изображений, выполнять послойное совмещение и стыковку полей, производить измерение и активную компенсацию статических и динамических ошибок отклоняющей системы микроскопа, осуществлять работу в командном режиме.

NanoMaker включает новейший высокоскоростной генератор изображений и поставляется с таблицей рекомендованных параметров для выбора режимов экспонирования, комплектом драйверов для управления столом и микроскопом, а также руководством пользователя в электронном виде.

Внедрение литографической системы в Университете города Жешув выполнено совместно с польской компанией Uni-Export Instruments Polska, Warszawa. В рамках проекта поведено обучение группы сотрудников и студентов Университета.

"Жешув считается в Польше столицей инноваций: все индустриальные новинки, включая новаторские разработки сферы информационных технологий, в первую очередь применяются в этом городе. Университет активно поддерживает сложившуюся традицию, внедряя самые передовые технологические решения, - рассказывает руководитель лаборатории технологии нанолитографии и фотолитографии Научно-образовательного центра микроэлектроники и нанотехнологии Университета города Жешув профессор Ежи Вробел (Jerzy Wrobel). - Поэтому мы остановили выбор на литографической системе NanoMaker, которая по ряду характеристик превосходит конкурирующие на рынке системы. Комплекс позволит нам превратить сканирующий электронный микроскоп Tescan Vega SBH в полноценный литограф для проведения фундаментальных и прикладных научно-исследовательских работ в сфере нанолитографии и фотолитографии. Кроме того, мы планируем использовать российскую систему электронно-лучевой литографии в рамках учебного процесса. Три года назад мы приобрели несколько лицензий системы NanoMaker-Editor для учебных целей. Внедрение NanoMaker-Writer станет логичным продолжением проекта оснащения учебной базы лаборатории технологии нанолитографии и фотолитографии инновационными технологическими решениями".

"Электронно-лучевая литография открывает принципиально новые возможности в исследовании и высокоточном производстве наноразмерных структур для приборов и устройств нового поколения, - отмечает Булат Гайфуллин, генеральный директор компании Интерфейс. - Поэтому совместными усилиями специалистов Интерфейса и Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН) мы постоянно развиваем и совершенствуем аппаратно-программный комплекс NanoMaker. На сегодняшний день российская разработка базируется на уникальных методах и технологиях создания микро- и наноструктур, не имеющих аналогов на мировом рынке. Мы уверены, что NanoMaker поможет польским коллегам поднять научные исследования и образовательный процесс на качественно новый уровень".

O компании Интерфейс
www.interface.ru
Интерфейс - группа компаний, работающая на российском ИТ-рынке с 1990 года. Успешно ведет проекты по проектированию, разработке, внедрению и сопровождению приложений по запросам заказчиков, а также проекты внедрения и технической поддержки программных и аппаратно-программных комплексов ведущих мировых вендоров (IBM, SAP, Oracle и др.). Поставляет тиражные программные продукты и решения для широкого круга задач организаций и предприятий, содействует подготовке к сертификации по стандартам ISO900x и CMMI, оказывает консалтинговые услуги и проводит обучение информационным технологиям, ведет активную научно-исследовательскую деятельность по ряду естественнонаучных направлений и информационным технологий.

Oб ИПТМ РАН
www.iptm.ru
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН) формировался в 1982 - 1983 г.г. в составе Института физики твердого тела АН СССР и получил самостоятельность 1 января 1984 года. Основными задачами ИПТМ являются проведение фундаментальных исследований в области физических основ микроэлектроники и свойств микро- и нанообъектов, создание методов контроля и диагностики микроструктур, разработка новых технологических процессов микроструктурирования, поиск и получение новых материалов для микроэлектроники.

Об Университете города Жешув, Польша
www.nanocentrum.univ.rzeszow.pl
Жешувский университет - самый крупный вуз Восточной Польши. Официально он возник в 2001 г., когда три существующих в Жешуве вуза были соединены в общую учебную единицу (Высшая педагогическая школа, местное отделение Института им. Марии Склодовской-Кюри и отделения экономики Академии сельского хозяйства). С тех пор университет Жешува достиг значительных успехов, заняв второе место в рейтингах университетов всей Польши. Сегодня университет ведет обучение и научные исследования в сфере нанотехнологий, информатике, медицине, философии, филологии и менеджменте.

Назад к Новостям