NanoMaker - это литографическая система, предназначенная для проектирования 2D и 3D структур и их экспонирования
на электронных (SEM), ионных (FIB) микроскопах и промышленных литографах.
Почему NanoMaker?
NanoMaker предоставляет уникальные методы и технологии создания микро- и наноструктур, проверенные более
чем 20-ти летним опытом эксплуатации:
содержит графический редактор, позволяющий проектировать иерархические литографические структуры
практически любого размера и любой сложности;
оптимизирует дозу (время) экспонирования, учитывая эффект близости для 2D/3D структур
и рассчитывает другие параметры процесса таким образом, что гарантирует 100% результат за одну литографию;
моделирует проявление резиста;
компенсирует дисторсию отклоняющей системы микроскопа при работе в большом поле;
значительно сокращает общее время экспонирования за счет активной компенсации
динамических ошибок отклоняющей системы микроскопа;
позволяет экспонировать без бланкера;
включает Монте Карло моделирование для расчета
параметров эффекта близости в случае многослойных подложек;
может использоваться как диагностический инструмент для получения с высоким разрешением
панорамных изображений поверхности пространных
микро-объектов. Например, для фотографирования топологии при обратном проектировании Интегральных Схем (IC);
сделан в России.
Ни одна из компаний производящих аналогичные системы на мировом рынке не предлагает такой набор функций.
Назначение и задачи
NanoMaker предназначен для решения следующих задач:
предоставить пользователю мощную, универсальную и удобную систему для преобразование любого сканирующего
электронного или ионного микроскопа в литограф;
обеспечить достижение предельного литографического разрешения на конкретном приборе и с этой целью:
осуществлет коррекцию эффекта близости в процессе подготовки данных для литографии;
позволяет прогнозировать и оптимизировать результы литографии посредством моделирования проявления резиста;
компенсирует ошибки отклоняющей системы при экспонировании и снятии изображений;
легко адаптируется под различные конфигураций литографического оборудования, учитывая системы
бланкирования луча, моторизованные столы и т.д.;
создавать трехмерные структуры в резисте с использованием дозовых кривых;
обеспечить расширенные возможности при проектировании голограмм и киноформных приложений;
способствовать ознакомлению пользователей с основными принципами литографии за счет интуитивно-понятного интерфейса,
логичной последовательности операций и прочной теоретической основы.
Что нового?
События:
March, 2016
Решения компании Интерфейс в области нанотехнологий получили признание на The...
June, 2015
NanoMaker был представлен на международной выставке 2015 Photonic Festival in Taiwan
December, 2014Наша статья, посвященная проектированию и изготовлению радужных голограмм с использованием электронно-лучевой...
Архивы
В продукте:
September, 2017
Опубликована 64-битная бета версия NanoMaker-Editor (build 20.09.2017). Чтобы опробовать ее, скачайте инсталляционный файл...
May, 2013
Обновленная версия ПО NanoMaker-Editor доступна для скачивания в разделе Скачать....
January, 2012
В разделе Download доступна для скачивания обновленная версия NanoMaker-Editor....
Ознакомьтесь с нашим продуктом. Мы уверены, что он вам понравится. Пожалуйста смело обращайтесь к нам, если Вам нужна дополнительная информация или консультация для принятия решений.