Fabrication of rainbow hologram with NanoMaker  Fabrication of Rainbow Hologram with NanoMaker
 NanoMaker  Скачать  Примеры Использования  Поддержка  Публикации  Контакты 
English      Russian
 NanoMaker
 О Продукте
 Функции
 Продукты
 Генератор Изображений
 Фотогалерея
 Скачать
 Примеры Использования
 Поддержка
 Публикации
 Контакты
Site search by Google
Рейтинг@Mail.ru  eXTReMe Tracker
Литографическая система NanoMaker

NanoMaker - это литографическая система, предназначенная для проектирования 2D и 3D структур и их экспонирования на электронных (SEM), ионных (FIB) микроскопах и промышленных литографах.

Почему NanoMaker?

NanoMaker предоставляет уникальные методы и технологии создания микро- и наноструктур, проверенные более чем 20-ти летним опытом эксплуатации:
  • содержит графический редактор, позволяющий проектировать иерархические литографические структуры практически любого размера и любой сложности;
  • оптимизирует дозу (время) экспонирования, учитывая эффект близости для 2D/3D структур и рассчитывает другие параметры процесса таким образом, что гарантирует 100% результат за одну литографию;
  • моделирует проявление резиста;
  • компенсирует дисторсию отклоняющей системы микроскопа при работе в большом поле;
  • значительно сокращает общее время экспонирования за счет активной компенсации динамических ошибок отклоняющей системы микроскопа;
  • позволяет экспонировать без бланкера;
  • включает Монте Карло моделирование для расчета параметров эффекта близости в случае многослойных подложек;
  • может использоваться как диагностический инструмент для получения с высоким разрешением панорамных изображений поверхности пространных микро-объектов. Например, для фотографирования топологии при обратном проектировании Интегральных Схем (IC);
  • сделан в России.

Ни одна из компаний производящих аналогичные системы на мировом рынке не предлагает такой набор функций.

Назначение и задачи

NanoMaker предназначен для решения следующих задач:
  1. предоставить пользователю мощную, универсальную и удобную систему для преобразование любого сканирующего электронного или ионного микроскопа в литограф;
  2. обеспечить достижение предельного литографического разрешения на конкретном приборе и с этой целью:
    1. осуществлет коррекцию эффекта близости в процессе подготовки данных для литографии;
    2. позволяет прогнозировать и оптимизировать результы литографии посредством моделирования проявления резиста;
    3. компенсирует ошибки отклоняющей системы при экспонировании и снятии изображений;
    4. легко адаптируется под различные конфигураций литографического оборудования, учитывая системы бланкирования луча, моторизованные столы и т.д.;
  3. создавать трехмерные структуры в резисте с использованием дозовых кривых;
  4. обеспечить расширенные возможности при проектировании голограмм и киноформных приложений;
  5. способствовать ознакомлению пользователей с основными принципами литографии за счет интуитивно-понятного интерфейса, логичной последовательности операций и прочной теоретической основы.
Что нового?
События:
March, 2016 Решения компании Интерфейс в области нанотехнологий получили признание на The... Дальше...
June, 2015 NanoMaker был представлен на международной выставке 2015 Photonic Festival in Taiwan Дальше...
December, 2014 Наша статья, посвященная проектированию и изготовлению радужных голограмм с использованием электронно-лучевой... Дальше...
Архивы Следовать в архив...
В продукте:
May, 2013 Обновленная версия ПО NanoMaker-Editor доступна для скачивания в разделе Скачать.... Дальше...
January, 2012 В разделе Download доступна для скачивания обновленная версия NanoMaker-Editor.... Дальше...
January, 2012 Подготовлен новый релиз программы, в котором произведена оптимизации работы с большими массивами данных за счет представления их в виде B-деревьев, что существенно ускорило работу с... Дальше...
Архивы Следовать в архив...
На сайте:
February, 2016 В нашей Фотогалерее опубликованы несколько фотографий сверхчувствительного... Дальше...
January, 2015 Обновленное Руководство для начинающих по основным функциям редактора NanoMaker опубликовано на сайте в разделе Дальше...
October, 2014 В нашей Фотогалерее опубликованы несколько фотографий "глубоких"... Дальше...
Архивы Следовать в архив...
Литографическая система на основе РЭМ и NanoMaker
Растровый электронный микроскоп под управлением NanoMaker

Области применения

  • Микроэлектроника;
  • Нанотехнологии, нанофизика;
  • 3D нано- и микроструктурирование;
  • MEMS (микро-электромеханические системы);
  • MOEMS (микро-оптоэлектромеханические системы);
  • Дифракционная оптика (синтезированные голограммы) для видимого и рентгеновского диапазона, включая радужные голограммы;
  • Микромашининг, микрофлюидика

Легко устанавливается на:

  • Сканирующие электронные микроскопы: JEOL, FEI, ZEISS, HITACHI, LEO, PHILIPS, TESCAN,...
  • Установки с фокусированным ионным пучком (FIB)
Ознакомьтесь с нашим продуктом. Мы уверены, что он вам понравится. Пожалуйста смело обращайтесь к нам, если Вам нужна дополнительная информация или консультация для принятия решений.
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
 
    Copyright © 2002-2017 Interface Ltd. & IMT RAS