Fabrication of rainbow hologram with NanoMaker  Fabrication of Rainbow Hologram with NanoMaker
 NanoMaker  Скачать  Примеры Использования  Поддержка  Публикации  Контакты 
English      Russian
 NanoMaker
 Скачать
 Примеры Использования
 Поддержка
 Услуги
 Q&A
 Требования к Микроскопу
 Требования для Инсталляции
 Публикации
 Контакты
Site search by Google
Рейтинг@Mail.ru  eXTReMe Tracker
Основные требования к микроскопу, который используется для электронно-лучевой литографии

Основные требования к микроскопу, который предполагается использовать для электронно-лучевой литографии под управлением NanoMaker

  1. Микроскоп обязательно должен быть оснащен Интерфейсом Внешнего Сканирования (External Scan Interface), далее - Интерфейс. Большинство современных SEM оснащены таким Интерфейсом, но иногда этот Интерфейс поставляется опционально. Если разъемы Интерфейса уже используются рентгеновским микроанализатором или другими устройствами, тогда необходимо предусмотреть подключение через дополнительное переключающее устройство.     Входной диапазон XY сигналов отклонения луча Интерфейса должен быть пределах ± 10 вольт на входном импедансе превышающем 2 кОм. Полоса пропускания тракта XY сигналов отклонения луча должна быть лучше, чем 100 кГц.
  2. Интерфейс должен предоставлять выход видео сигнала во вторичных электронах в режиме внешнего сканирования. Максимальная амплитуда сигнала должна быть в диапазоне -2 ... +10 Вольт на выходном сопротивлении 15 кОм.
  3. Электронная пушка должна обеспечивать долгосрочную стабильность тока зонда (менее 1 %/час, дрейф и шум)     при типичных для литографии ускоряющих напряжениях 25 - 30 кВ. Наилучший выбор - это микроскопы     с автоэмиссионным (термоэмиссионного типа) (Schottky field emission) источником.
  4. Микроскоп должен демонстрировать высокое разрешение, близкое к заявленному производителем. Хорошее разрешение и высокую линейность отклонения луча в поле сканирования 500 x 500 микрон, по крайней мере, если система предназначена для экспонирования больших структур.
  5. При экспонировании необходимо измерять ток зонда. Схемы измерения могут быть различными в зависимости от марки микроскопа. В некоторых приборах цилиндр Фарадея может размещаться на планке держателя блока диафрагм. В такой схеме ток измеряется внутри колонны при соответствующем положении держателя. Можно также измерять ток зонда поместив цилиндр Фарадея на держатель образца. Для измерений необходим пикоамперметр, работающий в диапазоне 0.1 pA - 1 uA, по крайней мере. Это может быть как отдельный прибор, так и интегрированный в микроскоп.
  6. Быстрый электростатический бланкер луча крайне желателен. Электромагнитный бланкер также применим для большинства приложений. NanoMaker позволяет экспонировать вообще без бланкера, но при этом сужается круг возможных приложений. Высоковольтный усилитель сигнала на пластины бланкера должен работать от входного сигнала TTL (или сопоставимого) уровня.
  7. Универсальный держатель образцов с прижимными контактами, позволяющий удерживать подложку с нанесенным резистом без приклеиваний, крайне неоходим. Лучше чтобы держатель имел достаточно большую поверхность чтобы нести несколько подложек, а также цилиндр Фарадея, калибровочный образец и образец для настройки высокого разрешения.
  8. Желательно иметь стол управляемый от внешнего компьютера. Если предполагается такое управление, соответствующий порт удаленного компьютера должен быть соединен кабелем с портом контроллера стола. Управление функциями микроскопа с удаленного компьютера желательно, но необязательно.
  9. Шлюзовая камера для быстрой загрузки образцов желательна, поскольку значительно ускоряет работу.

 

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
 
    Copyright © 2002-2017 Interface Ltd. & IMT RAS