Коррекция эффекта близости (PEC)
Обычно, при создании дизайна структуры, всем элементам назначается одинаковая доза. При экспонировании такой структуры, вследствие эффекта близости, бывает трудно добиться хорошего результата, вследствие неравномерности проявления. Коррекция эффекта близости позволяет пересчитать дозу для каждого элемента и даже разбить элементы на части с различной дозой для достижения наилучших результатов экспонирования и проявления. Для коррекции программа использует параметры функции близости (alpha, beta, eta), которые, в свою очередь, зависят от характеристик электронного луча (энергия, диаметр) и толщин и материалов резиста и подложки. NanoMaker включает экспериментальную базу данных Recommended Parameters, из которой можно быстро выбрать параметры функции близости, соответствующие условиям процесса.
При коррекции, сначала рассчитывается непрерывное распределение дозы,
а затем структура дробится на части (зоны) с постоянными дозами экспонирования в зависимости от количества заданных уровней разбиения.
Распределение дозы может быть легко представлено с помощью цветового кодирования.
