Полоски резиста шириной 40 нм

A. Firsov
Application Center for Microengineering, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II, Berlin, Germany
Оборудование: SEM LEO 1560, TSL laser interferometer controlled stage

Фрагмент крайней зоны Брэгг-Френелевской зонной пластинки. Полоски шириной около 40 нм изготовлены в ПММА резисте 50 нм толщины на массивной Si подложке.

Другие фотографии наших пользователей

G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон...

J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Двумерный фотонный кристалл...

V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS Детектор квантовых состояний...

A. Nashchekin, E. Arakcheeva, E. Tanklevskaya; Ioffe Physico-Technical Institute RAS Искуственный дефект в двухмерном фотонном кристалле...

Y. Kasumov et al.; IMT RAS1 and ISSP RAS2 Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе...

Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University Матрица 10 нм ямок в пирографите...

A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS Одиночный приемный элемент сверхпроводникового болометра включенного в планарную антенну...

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin; IMT RAS "Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)...

E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)...

V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1 Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь...