Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе
Y. Kasumov et al.
IMT RAS1 and ISSP RAS2
, Chernogolovka, Russia
Оборудование: SEM Zeiss EVO 50
The samples were fabricated as follows. At first, a Pt film with Cr underlayer was deposited by e-beam evaporation on oxidized
silicon wafer using photolithography mask to form contact pads and lanes. Then the wafer was cut up to obtain chips.
10 nm Al/1 nm Fe bilayer catalyst was selectively deposited by e-beam gun onto the chips using electron beam lithography and
a lift-off technique. After that the chips with deposited bilayer catalyst were heated in a furnace in air atmosphere for 2 min
in order to form Fe nanoparticles. Then the nanotubes were synthesized by single injection of acetylene CVD technique.
E-beam lithography with NanoMaker system and a lift-off process were used to pattern e-beam evaporation deposited Pd-Al electrodes contacting nanotubes.
Общий вид образца. 8 прототипов SQUID на основе нанотрубок.
|
Назад в Фотогалерею |
Другие фотографии наших пользователей
 |
|
A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Система линз у второго кристалла монохроматора...
|
 |
|
G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU
Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон...
|
 |
|
J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Общий вид фотонного кристалла на основе гексогональной решетки в S3N4...
|
 |
|
V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS
Детектор квантовых состояний...
|
 |
|
A. Nashchekin; Ioffe Physico-Technical Institute RAS
Двумерный фотонный кристалл в разрезе...
|
 |
|
Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University
Массив кружков на поверхности платины...
|
 |
|
A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS
Одиночный приемный элемент сверхпроводникового болометра включенного в планарную антенну...
|
 |
|
М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin; IMT RAS
"Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)...
|
 |
|
E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University
Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)...
|
 |
|
V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1
Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь...
|
|
|
|