Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе

Y. Kasumov et al.
IMT RAS¹ and ISSP RAS² , Chernogolovka, Russia
Оборудование: SEM Zeiss EVO 50

The samples were fabricated as follows. At first, a Pt film with Cr underlayer was deposited by e-beam evaporation on oxidized silicon wafer using photolithography mask to form contact pads and lanes. Then the wafer was cut up to obtain chips. 10 nm Al/1 nm Fe bilayer catalyst was selectively deposited by e-beam gun onto the chips using electron beam lithography and a lift-off technique. After that the chips with deposited bilayer catalyst were heated in a furnace in air atmosphere for 2 min in order to form Fe nanoparticles. Then the nanotubes were synthesized by single injection of acetylene CVD technique. E-beam lithography with NanoMaker system and a lift-off process were used to pattern e-beam evaporation deposited Pd-Al electrodes contacting nanotubes.

Общий вид образца. 8 прототипов SQUID на основе нанотрубок.

Другие фотографии наших пользователей

A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Система линз у второго кристалла монохроматора...

G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон...

J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Общий вид фотонного кристалла на основе гексогональной решетки в S3N4...

V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS Детектор квантовых состояний...

A. Nashchekin; Ioffe Physico-Technical Institute RAS Двумерный фотонный кристалл в разрезе...

Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University Массив кружков на поверхности платины...

A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS Одиночный приемный элемент сверхпроводникового болометра включенного в планарную антенну...

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin; IMT RAS "Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)...

E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)...

V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1 Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь...