Fabrication of rainbow hologram with NanoMaker  Fabrication of Rainbow Hologram with NanoMaker
 NanoMaker  Скачать  Примеры Использования  Поддержка  Публикации  Контакты 
English      Russian
 NanoMaker
 О Продукте
 Функции
 Продукты
 Генератор Изображений
 Фотогалерея
 Скачать
 Примеры Использования
 Поддержка
 Публикации
 Контакты
Site search by Google
Рейтинг@Mail.ru  eXTReMe Tracker
Навигатор по фотогалерее

"Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin
IMT RAS , Chernogolovka, Russia
Оборудование: SEM Zeiss EVO 50

Структура кремниевой дифракционной решетки представляет собой профилированную поверхность кремниевой пластины в виде квадрата, состоящего из набора параллельных друг другу кремниевых полосок, разделенных воздушным пространством. Размер квадрата составляет (400 x 400) мкм2. После создания топологического профиля в электронном резисте на его поверхность напылялась металлическая пленка, в которой с помощью взрывной литографии "lift-off” формировалась металлическая маска для последующего реактивного ионно-плазменного травления (РИТ) кремниевой подложки.
Травление осуществлялось на установке плазменного травления в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР-плазма). Отличительной особенностью СВЧ плазмы (f=35 ГГц) в условиях ЭЦР является высокая электронная плотность (экспериментально подтверждена Ne=4x1013 см-3). Это позволяет осуществлять глубокое травление кремниевой подложки (до 100 мкм) при минимальном подтравливании под маску (5-10)% от глубины травления.

Вид сверху на дифракционную решетку рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400).

Назад в Фотогалерею

Другие фотографии наших пользователей

Отражающие зонные пластинки для фокусировки рентгеновского излучения A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Отражающие зонные пластинки для фокусировки рентгеновского излучения... Далее...
Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного пр G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU
Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон... Далее...
Фотонные кристаллы на основе гексогональной решетки в S<sub>3</sub>N<s J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Фотонные кристаллы на основе гексогональной решетки в S3N4... Далее...
Детектор квантовых состояний V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS
Детектор квантовых состояний... Далее...
2D PhC на основе структуры с квантовыми точками InAs/InGaAs в качестве A. Nashchekin, E. Arakcheeva, E. Tanklevskaya; Ioffe Physico-Technical Institute RAS
2D PhC на основе структуры с квантовыми точками InAs/InGaAs в качестве активной области... Далее...
Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание п Y. Kasumov et al.; IMT RAS1 and ISSP RAS2
Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе... Далее...
Массив кружков на поверхности платины Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University
Массив кружков на поверхности платины... Далее...
Одиночный приемный элемент  сверхпроводникового болометра включенного A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS
Одиночный приемный элемент сверхпроводникового болометра включенного в планарную антенну... Далее...
Тонкопленочные структуры из висмута (Bi) E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University
Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)... Далее...
Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1
Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь... Далее...
Другие фотографии от IMT RAS
(Щелкните на изображении чтобы увеличить )
"Глубокие" дифракционные решетки...
1. "Глубокие" дифракционные решетки...
"Глубокие" дифракционные решетки...
2. "Глубокие" дифракционные решетки...

3. "Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского...
"Глубокие" дифракционные решетки...
4. "Глубокие" дифракционные решетки...
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
 
    Copyright © 2002-2017 Interface Ltd. & IMT RAS