"Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin
IMT RAS , Chernogolovka, Russia
Оборудование: SEM Zeiss EVO 50

Структура кремниевой дифракционной решетки представляет собой профилированную поверхность кремниевой пластины в виде квадрата, состоящего из набора параллельных друг другу кремниевых полосок, разделенных воздушным пространством. Размер квадрата составляет (400 x 400) мкм². После создания топологического профиля в электронном резисте на его поверхность напылялась металлическая пленка, в которой с помощью взрывной литографии "lift-off” формировалась металлическая маска для последующего реактивного ионно-плазменного травления (РИТ) кремниевой подложки.
Травление осуществлялось на установке плазменного травления в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР-плазма). Отличительной особенностью СВЧ плазмы (f=35 ГГц) в условиях ЭЦР является высокая электронная плотность (экспериментально подтверждена N_e=4x10¹³ см^-3). Это позволяет осуществлять глубокое травление кремниевой подложки (до 100 мкм) при минимальном подтравливании под маску (5-10)% от глубины травления.

Вид сверху на дифракционную решетку рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400).

Другие фотографии наших пользователей

A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Фрагмент Брэгг-Френелевской зонной пластинки спроектированной для рентгеновской оптики...

G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон...

J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II Фрагмент фотонного кристалла на основе решетки гексагонального типа в процессе изготовления...

V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS Детектор квантовых состояний...

A. Nashchekin, E. Arakcheeva, E. Tanklevskaya; Ioffe Physico-Technical Institute RAS 2D PhC с CROW на основе дефектной сверхрешетки фотонных кристаллов для замедления света...

Y. Kasumov; IMT RAS1 and ISSP RAS2 Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе...

Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University Травление фокусированным ионным лучом золотой пленки, лежащей на углероде....

A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS Массив сверхпроводящих приемных элементов для детектирования излучения в терагерцовом диапазоне....

E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)...

V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1 Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь...