Fabrication of rainbow hologram with NanoMaker  Fabrication of Rainbow Hologram with NanoMaker
 NanoMaker  Скачать  Примеры Использования  Поддержка  Публикации  Контакты 
English      Russian
 NanoMaker
 О Продукте
 Функции
 Продукты
 Генератор Изображений
 Фотогалерея
 Скачать
 Примеры Использования
 Поддержка
 Публикации
 Контакты
Site search by Google
Рейтинг@Mail.ru  eXTReMe Tracker
Навигатор по фотогалерее

"Глубокие" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)

М. Knyazev, V. Starkov, D. Roshchupkin
IMT RAS , Chernogolovka, Russia
Оборудование: SEM Zeiss EVO 50

Структура кремниевой дифракционной решетки представляет собой профилированную поверхность кремниевой пластины в виде квадрата, состоящего из набора параллельных друг другу кремниевых полосок, разделенных воздушным пространством. Размер квадрата составляет 400 х 400 мкм2. После создания топологического профиля в электронном резисте на его поверхность напылялась металлическая пленка, в которой с помощью взрывной литографии "lift-off " формировалась металлическая маска для последующего реактивного ионно-плазменного травления (РИТ) кремниевой подложки.
Травление осуществлялось на установке плазменного травления в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР-плазма). Отличительной особенностью СВЧ плазмы (f=35 ГГц) в условиях ЭЦР является высокая электронная плотность (экспериментально подтверждена Ne=4 х 1013 см-3). Это позволяет осуществлять глубокое травление кремниевой подложки (до 100 мкм) при минимальном подтравливании под маску (5-10)% от глубины травления.

Фронтальный вид на дифракционную решетку рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400). На краях полосок видны изогнутые концы фрагментов металлической маски.

"Глубокие" дифракционные решетки рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)
Назад в Фотогалерею

Другие фотографии наших пользователей

Фрагменты последних зон линзы у кристалла монохроматора на подложке ра A. Firsov; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Фрагменты последних зон линзы у кристалла монохроматора на подложке размером 30 мм на 30 мм... Далее...
Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного пр G.Goltsman, K. Smirnov, N.Kaurova et al.; MSPU
Сверхпроводниковый болометр на горячих электронах для гетеродинного приемника терагерцового диапазон... Далее...
Общий вид фотонного кристалла на основе гексогональной решетки в S<sub J. Kouba; Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, BESSY II
Общий вид фотонного кристалла на основе гексогональной решетки в S3N4... Далее...
Детектор квантовых состояний V. Gurtovoi, A. Firsov; IMT RAS
Детектор квантовых состояний... Далее...
Двумерный фотонный кристалл в разрезе A. Nashchekin; Ioffe Physico-Technical Institute RAS
Двумерный фотонный кристалл в разрезе... Далее...
Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание п Y. Kasumov; IMT RAS1 and ISSP RAS2
Селективное выращивание однослойных углеродных нанотрубок и создание приборов на их основе... Далее...
Травление фокусированным ионным лучом золотой пленки, лежащей на углер Yu. Petrov, Prof. O. Vyvenko; St. Petersburg State University
Травление фокусированным ионным лучом золотой пленки, лежащей на углероде.... Далее...
Массив сверхпроводящих приемных элементов для детектирования излучения A. Vystavkin, A. Kuzmin, S. Shitov, A. Kovalenko, I. Kon, A. Uvarov, et al.; Institute of Radioengineering and Electronics (IRE) of RAS
Массив сверхпроводящих приемных элементов для детектирования излучения в терагерцовом диапазоне.... Далее...
Тонкопленочные структуры из висмута (Bi) E. Konstantinov, E. Demidov; Herzen State Pedagogical University
Тонкопленочные структуры из висмута (Bi)... Далее...
Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь V. Gurtovoi2, V. Antonov1; Royal Holloway University1
Множественные сверхпроводящие кольца соединенные в длинную цепь... Далее...
Другие фотографии от IMT RAS
(Щелкните на изображении чтобы увеличить )
"Глубокие" дифракционные решетки...
1. "Глубокие" дифракционные решетки...
"Глубокие" дифракционные решетки...
2. "Глубокие" дифракционные решетки...
"Глубокие" дифракционные решетки...
3. "Глубокие" дифракционные решетки...

4. "Глубокиe" дифракционные решетки рентгеновского...
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
 
    Copyright © 2002-2017 Interface Ltd. & IMT RAS