Управление другими сканирующими устройствами
Управление АСМ с помощью NanoMaker. Коррекция гистерезиса
Чтобы использовать АСМ/СТМ устройства в качестве технологического инструмента необходимо обеспечить
доступ к любой точке образца в течение той же самой литографической сессии или в течение следующей.
Задача была решена подключением к управлению АСМ устройством программного пакета NanoMaker
первоначально разработанного для управления электронно-литографическими установками.
По сравнению с электронно-литографическими установками АСМ/СТМ устройства имеют очень существенное
и неприятное свойство - гистерезис двигателей перемещающих кантилевер.
Как следствие, поле сканированния и снимаемые изображения оказываются искаженными.
Пример таких искажений можно увидеть на Fig.1a.
|
|
Fig. 1a. Вследствие гистерезиса площадь нижнего левого 1 мкм квадратика в четыре
раза больше площади такого же квадратика в верхнем правом углу изображения. |
Fig. 1b. После коррекции гистерезиса 1% точность сканирования может быть достигнута по всему
полю. |
Специальная процедура была разработана для измерения характеристик гистерезиса любого АСМ/СТМ
устройства. Затем дополнительная процедура коррекции была реализована в пакете NanoMaker
для компенсации ошибок гистерезиса "на лету".
В результате, с помощью программного обеспечения, по всему полю
сканирования может быть обеспечена точность позиционирования кантилевера около 1% (Fig.1b).
|